Дан обзор по восстановлению полностью интегрированных Pb(Nb, Zr, Ti)O[3] ферроэл. конденсаторов, поврежденных в процессе отжига в форм-газе. Конденсаторы герметизированы TiO[x] и SiO[2] в качестве межуровневого диэлектрика для предупреждения любых потерь кислорода или свинца. Водород диффундирует в ферроэл. пленку, приводя к потерям ферроэлектричества. Для восстановления свойств конденсаторов последние отжигали в среде N[2]. С помощью Романовского рассеяния подтверждено удаление водорода, при этом ферроэл. свойства, включая поляризацию и сопротивление конденсаторов были восстановлены до первоначальных величин (до повреждения конденсаторов). Выполненные исследования показали, что процесс водородного повреждения конденсаторов обратимый, при этом время восстановления зависит от количества водорода в форм-газе.