Были изготовлены 2 различные структуры Pt/Pb(Zr,Ti)O[3] (PZT)/Pt и PtO/PZT/Pt конденсаторов методом радиочастотного магнетронного распыления, за которым следовал быстрый термический отжиг (БТО) в атмосфере N[2]. Были сравнены ферроэл. свойства этих двух конденсаторов главным образом с точки зрения усталости. Наблюдалось восстановление PtO до Pt после БТО с помощью рентгеновской диффракции (ХРД) и это приводило к деградации конденсаторов для 5,0*10{“”} обратных циклов поляризации. Конденсатор Pt/PZT/Pt, однако, проявляет сильное уменьшение поляризации в области 10{8} циклов чтения и записи. Можно предположить, что это улучшение обусловлено компенсацией кислородных вакансий в PZT, которые являются причиной усталости во время службы, тем, что атомы кислорода уменьшаются и отделяются от слоя PtO, с тем, чтобы затем диффундировать в диэл. слой и нейтрализовать вакансии. Библ. 13.