Диэлектрические свойства пленок (Ba, Sr)TiO[3] чрезвычайно чувствительны к атмосфере последующей термообработки. Последующий отжиг в кислородной атмосфере увеличивает явление диэлектрич. релаксации, а последующий отжиг в атмосфере азота вызывает небольшую диэлектрич. релаксацию. Подобная зависимость диэлектрич. релаксации связана как с кислородными вакансиями, так и с наличием отрицательно заряженных ионов кислорода, захваченных на границах зерен и/или на межфазной границе электрод-диэлектрик.