Предлагается устройство для определения наличия подложек/кремниевых чипов, фотомасок и т. п./, расположенных стопкой в технол. кассете. Устройство универсальное и м. б. использовано в полупроводниковой промышленности для подачи на обработку каких-либо тонких пластин. В состав устройства входят рама с платформой для установки технол. кассеты и окном для доступа к подложкам, рычаг с захватом для взятия подложек из кассеты, приводы для перемещения рычага и захвата и датчики положения рычага и захвата, а также датчик наличия подложек в кассете.