Тонкие пленки нитрида алюминия были выращены методом реактивного магнетронного распыления с использованием импульсного источника питания. Высоко-(002)текстурированные пленки осаждались на подложки из кремния, проявляли квазимонокристаллические пьезоэл. свойства. Эффективные d[33] были измерены равными 3,4 ПМ(В), эффективные l[31] равны 1,0 С/м{2}. Пироэл. коэф. оказавшийся положит. (4,8 мС{-2}к{-1}) обусловлен доминирующим пьезоэл. вкладом. Были изготовлены объемные тонкопленочные акустические резонаторы (MNOAP) с основным резонансом при 3,6 кГц обладающие резонаторными свойствами. Параметры материала, полученные из толщины резонанса, были коэф. взаимодействия k=0,23 и вторая скорость v[3]=11400 м/сек. Имея добротность Q=300, MNOAP годился для применений в фильтрах. Температурный коэф. частоты м. б. настроен равным 0 мг/к. Библ. 16.