ВЧ-катодным распылением керамических мишеней стехиометрического состава в атмосфере кислорода повышенного давления получены сегнетоэл. гетероэпитаксиальные пленки Pb(Zr,Ti,W,Cd)O[3] на подложках из сколов кристаллов MgO (001) и поликристаллические пленки того же состава на подложках из платины и поликора. По данным дифрактометрии гетероэпитаксиальные пленки при комнатной температуре имели тетрагональную структуру, а при t[c]ЭКВИВ=370°C происходил переход в кубическую фазу, сопровождаемый характерным изломом на температурной зависимости параметра элементарной ячейки, изменением ширины дифракционных отражений и уменьшением интегральной интенсивности рефлексов с нечетной суммой индексов. Поликристаллические пленки при комнатной температуре имели псевдокубическую структуру. Температурная зависимость параметров элементарной ячейки не имела характерных аномалий, и единственным признаком фазового перехода из псевдокубической нецентросимметричной фазы в кубическую центросимметричную являлось значительное уменьшение интегральной интенсивности отражений с нечетной суммой индексов. Библ. 15.