Предлагается улучшенный способ и аппаратура для сверления глухих отверстий предназначенных для соединения между верхними проводящими слоями и нижними проводящими слоями ППЛ при помощи лазера. Слой смолы, контактирующий с проводящим слоем трафарета, сверлят лазером т. обр. чтобы оставить остаточный слой, затем остаточный слой удаляют при помощи УФ-лазерного пучка, плотность энергии которого ниже порога разложения энергии проводящего слоя и выше, чем порог разложения слоя смолы. В аппарате для такого сверления используется 2 пучка лазера. Пространственное распределение энергии носит цилиндрический характер с однородными пучками и диаметры пучков и плотности энергии не зависят друг от друга. Целью изобретения является сверление ППЛ без использования хим. процессов путем селективного травления остаточного слоя при помощи лазерного излучения, используя измерение и использование существующей разницы между порогами энергии разложения смолы и проводника.