Способ формирования решетки шариковых выводов

Предложен способ формирования выводов в виде шариков припоя на подложке, несущей ИС. Используется кремниевая пластина, поверхность которой покрывается слоем медной фольги, на поверхность которой осаждается пленка сплава вольфрама и титана. На поверхности описанной структуры располагается шаблон в виде пленки из полиимидной смолы с отверстиями, которые заполняются расплавленным припоем, причем после затвердевания припоя его столбики выступают над поверхностью шаблона. Подложка с шаблоном переворачивается и устанавливается в такое положение, что столбики припоя прижимаются к контактным площадкам на поверхности подложки, где будет установлена ИС. Припой разогревается и образует на контактных площадках капли, имеющие форму, близкую к сферической. После затвердевания припоя образуются шарики, используемые в качестве выводов ИС.