Нанокристаллич. образцы TaN (отношение атомных долей N:Ta=0,99:1,0) получили, осуществив при 650°C реакцию между твердыми фазами: TaN+NH[4]Cl+6Na->TaN+6NaCl+2H[2]. Исследовали структуру этих образцов. Установлено, что в ней сосуществуют гексагональная и кубическая (метастабильная) фаза. Кристаллиты первой имеют игольчатую форму и типичные размеры 50*1000 нм, а второй – округлую форму и размер около 30 нм. При температуре 530-720°C приготовленные образцы быстро окисляются.