Разгерметизация кислотой герметизированных эпоксидных корпусов ИС с медными проволочными соединениями

Герметизированные эпоксидной смолой корпуса ИС разгерметизировали смесью концентрированной серной кислоты (20%) и дымящейся азотной кислоты в автоматизированном устройстве (блоке). Отмечается миним. коррозия медных проволочных соединений. Для достижения максим. поперечного сшивания эпоксидной смолы, выполнено старение литых корпусов ИС при 150°C в течение 1000 ч. Такие корпуса разгерметизировали более концентрированной (40%) кислотой в смеси с азотной кислотой. Исследования показали, что соединения медной проволоки, к покрытых Au, Cu, Pd и Sn поверхностям меньше подвергаются воздействия при разгерметизации корпусов, чем соединения к покрытым Ag поверхностям.