Приведен обзор неразрушающих методов измерения параметров пленочных покрытий. К упомянутым методам отнесены методы, основанные на измерении коэф. прохождения, поглощения и отражения эл-магн. и акустических волн. С помощью упомянутых методов производятся измерения толщины пленок, а также величин диэл. пост. Для измерения модуля упругости применяется метод, основанный на использовании ПАВ, для измерений внутренних напряжений рентгенографические методы. Наличие дефектов определяется также с использованием УЗ-волн. Указано, что для определения адгезии пленки неразрушающие методы применены быть не могут.