Одним из свойств технологического процесса (ТП) производства гибридных интегральных схем (ИС) является устойчивость его функционирования относительно нормативного значения целевой функции (например, выхода годных). Фундаментальную роль в обеспечении устойчивости ТП имеет принцип разделения, в соответствии с которым вначале оценивается состояние плат гибридных ИС и затем, при необходимости, применяется регулирование ТП для достижения нужного значения целевой функции. При оценке состояния решаются задачи. 1) определения принадлежности схемных элементов и плат гибридных ИС к одному из состояний “годен” или “брак” (для отбраковки); 2) определения принадлежности схемных элементов и плат гибридных ИС к допустимым состояниям (для снижения возможного брака); 3) анализа факторов, влияющих на устойчивость ТП относительно целевой функции. Алгоритм регулирования ТП, обеспечивающий его устойчивость относительно нормативного значения целевой функции, учитывает: модели данных о состоянии схемных элементов; физический смысл и математическую форму целевой функции ТП; методы оптимизации регулировочных воздействий. Для описания моделей данных применяются методы параметрической статистики на основе вероятностных данных применяются методы параметрической статистики на основе вероятностных моделей и статистики объектов нечисловой природы. Но поскольку при изготовлении плат гибридных ИС эргодичность и стационарность ТП в течение большого промежутка времени обеспечить трудно (это характерно для серийного производства ИС), то вероятностные модели становятся неадекватными реальной производственной ситуации. В связи с этим, в условиях серийного производства гибридных ИС все более широкое применение находят нечисловые методы оценивания состояния схемных элементов и плат гибридных ИС[2]. Термин “нечисловой” означает, что структура пространства, в котором лежат результаты измерений, не является структурой действительных чисел, векторов или функций. Примерами применения “нечисловых” методов являются: 1) представление результатов измерений в шкалах, отличных от абсолютной шкалы; 2) применение бинарных отношений при разбиении объектов на классы; 3) характеристика качества продукции по признакам (“годная” или “дефектная”); 4) разбиение множества объектов на случайные подмножества; 5) задание нечетких множеств с помощью функции принадлежности.