Метод изготовления сред для магнитной записи с защитным покрытием в виде пленки аморфного углерода с тетраэдральной структурой

Предложен метод формирования защитного покрытия на поверхности пленки магн. материала, находящейся на соотв. подложке. В качестве защитного покрытия используется пленка аморфного алмазоподобного углерода с высокой (>=15%) концентрацией связей sp{3} “углерод-углерод”. Нанесение упомянутой пленки осуществляется посредством использования потока плазмы с ионизацией атомов углерода. Предложено несколько вариантов ионизации, включая резонансную ионизацию. Рассмотрены случаи индуктивной ионизации и емкостной ионизации.