Металлические с высокой изоляцией сериесные и сериесно/шунтирующие микроэлектромеханические (МЭМ) переключатели

Представлены новые полностью металлические сериесные переключатели с нажимными электродами различной геометрии, имеющие верхнюю статическую емкость 5-9 fF и изоляцию – 25-30 дб на частоте 10 ГГц. Процесс изготовления переключателей полностью совместим с процессом изготовления стандартных емкостных шунтирующих переключателей. Представлен 40 Гц сериесный/шунтирующий переключатель с контактом постоянного тока с изоляцией – 60 дб на 5 ГГц и -42 дб на 10 ГГц. Эта наивысшая изоляция, полученная в настоящее время. Переключатели предназначены для базовых станций и спутниковых систем.