Контактное сопротивление тонкопленочных металлических контактов

Для снижения размеров изделий, содержащих электронные приборы большое значение имеет миниатюризация электромех. деталей изделий. Использование микромеханических соединений и контактных структур является одним из подходов решения проблемы микроминиатюризации. С помощью моделирования рассматривается целесообразность применения тонкопленочных металлических контактных структур. Использованные цифровые методы представляют способ аппроксимации общего сопротивления для тонкопленочных металлических контактов.