Конденсаторы Pt/(Ba,Sr)TiO[3]/Pt с толщиной диэлектрика 40 нм отжигали в атмосфере N[2] с содержанием кислорода 10{-8}% при температурах 550:-750°C, а также для сравнения в атмосфере кислорода при 400°C и N[2]+5% O[2] при 750°C. Измеряли ток утечки конденсаторов в зависимости от приложенного напряжения (±3,5 В) и режима отжига. Отжиг в атмосфере N[2] ведет к росту тока утечки на 6 порядков по сравнению с отжигом в кислородной среде. Дано объяснение этого явления исходя из различной микроструктуры конденсатора, особенно его верхнего электрода.