Исследование тока утечки и временной зависимости диэлектрического пробоя тонкопленочных конденсаторов ферроэлектриков свинец-цирконат-титонат для применяемых в устройствах памяти

Свинец-цирконат титанат (PZT) является интересным ферроэл. материалом для применения в устройствах памяти. Изготовлен металл-PZT-металл конденсаторы с Au и Pt в качестве верхнего и нижнего электродов. Изучены ток утечки, временная зависимость диэл. пробоя (TDDB), время жизни и корреляции между ними. Найдено, что ток утечки связан с приложенным эл. полем соотношением степенного закона. Найдено, что экспонента в соотношении степенного закона, равна 0,88 в области низких полей (ниже чем 100 кВ (см) и 9,6 в области высоких полей (выше чем 100 кВ/см). Измерены TDDB PZT конденсаторов. Предложен экстраполяционный метод для получения времени жизни TDDB из данных о времени пробоя. Найдено, что экспоненциальный степенной закон, полученный из измерений TDDB в этом методе находится в хорошем соответствии с измерениями тока утечки. Библ. 14.