Многослойные структуры с перемежающимися диэл. и металлическими покрытиями испытывают термо-мех. стрессы, приводящие к электромиграции и диффузии атомов металла. В данной статье приведены результаты исследований интерметаллических диэлектриков с наполнением из вольфрама, алюминия, нитридов титана и кремния, чистого кремния и полиамида. При испытаниях регистрировались коэф. температурного расширения и модуль Юнга. Теор. анализ миграционных процессов проводился с использованием метода конечного элемента, дающего возможность определять величины мех. нагрузок и их градиенты. Исследования показали, что воздействие мех. перегрузок в большой степени зависит от выбора пары металл-диэлектрик. Библ. 7.