Патентуются конструкция конденсатора для более однородного толстого конденсаторного диэл. слоя и способ его изготовления. Нижний электрод содержит композитные слои, на поверхность которых дифференциально осаждающий диэл. слои. В предпочтительном варианте изобретения нижний электрод содержит карбонид титана поверх шероховатого полисиликона, причем диэл. слой м. б. сформирован в процессе быстрого азотирования, обеспечивающего рост нитрида кремния. Как альтернатива, разделитель боковых стенок структуры м. б. сформирован осаждением слоя нитрида титана.