Индуцированный водородным отжигом процесс деградации конденсаторов на базе SrBi2Ta2O9 тонких пленок

Обнаружена строгая зависимость между изменениями состава поверхности ферроэл. слоя SrBi[2]Ta[2]O[9] пленочных конденсаторов и эл. свойствами последних в результате отжига в водороде. Результаты исследований с помощью масс спектроскопии и рентгеновской дифракции выявили уменьшение Bi при высокой температуре (ЭКВИВ500°C) водородного отжига конденсаторов. Последующий отжиг (700-800°C) в среде кислорода приводит к восстановлению обедненного поверхн. слоя. Библ. 6.