Патентуется способ герметизации ферроэлектрических конденсаторов, предупреждающий повреждения электродов и ферроэл. материала конденсаторов в результате воздействия водорода. Патентуемый способ включает процесс травления нижнего электрода конденсатора для вскрытия нижележащей поверхности пластины, в результате чего образуется полость между конденсатором и поверхностью пластины. Полость заполняют барьерным слоем для уменьшения диффузии водорода с поверхности пластины в конденсатор.