Приведены результаты эксперим. исследований метода изготовления полупроводниковых резонаторов на основе кремния, основанного на сухом травлении с одновременной диффузией бора. Гравировка канавок на поверхности кристалла производится с помощью плазмы молекулярного хлора и циклотронного резонанса электронов. Гравировка производилась в вакууме, получаемом с помощью турбомолекулярного насоса при частоте возбуждения плазмы 2,45 ГГц. Исследования показали, что рассматриваемый метод дает возможность получения канавок на поверхности кристалла с большим отношением высоты к ширине при малых затратах времени на травление. Библ. 17.