Способ изготовления пьезоэл. привода включает: формирование первого электрода на подложке и ферроэл. тонкой пленки на первом электроде и защитного неорганического слоя на тонкой пленке. Защитный слой и тонкую пленку термообрабатывают в среде, содержащей кислород. На окисленном диффузионном слое формируют второй электродный слой, причем диффузионный оксидный слой сформирован на поверхности ферроэл. тонкой пленки за счет диффузии компонентов ферроэл. слоя и окисления неорганического защитного слоя в результате термообработки.