Приведены результаты исследования кислорода в платиновых электродах сегнетоэлектрических конденсаторов, используемых в составе ячеек ЗУ. В составе упомянутых конденсаторов поверхность электродов покрывается пленкой TiN, используемой в качестве барьерного слоя. Слой Pt прозрачен для атомов кислорода, следствием чего является на образование на поверхности раздела Pt/TiN пленки с высоким значением сопротивления. Рассмотрены случаи напыления Pt на TiN в вакууме и в атмосфере воздуха. Показано, что в последнем случае скорость диффузии кислорода оказывается значительно меньшей, поскольку пленка Pt содержит зерна со случайной ориентацией. Библ. 7.