Патентуется водн. не вызывающий коррозии состав для удаления, напр., фоторезистов, остатков плазменного травления и т. п. Состав содержит соль гидроксиламина [нитрат, фосфат, хлорид и т. д. или триметил-(гидроксиэтил)аммонийгидроксид, N-гидроксиэтилпиперазин, тетра-(гидроксиэтил)аммонийгидроксид и т. п.], >=1 фторсодерж. соединение (фторангидрид к-ты, фторир. соль, полиаммонийфторид) и воду. Состав может содержать ингибитор коррозии – молочную к-ту, салициловый спирт, эфир галловой к-ты, ализарин и т. д. и имеет pH 2-9.